本文结合工程实际需求和测试目的,在分析差压检测原理和泄漏率计算理论方法的基础上,提出了气密性检测系统的总体方案,对各个功能模块的具体实现进行了设计。基于电容式差压传感器的理论,分析了电容变化与压差关系,以及传感器误差的主要来源。在理论分析的基础上,开展了有限元仿真实验研究,设计了电容式差压传感器的结构及参数。仿真表明,在传感器的工作量程范围内,传感器具有良好的线性度和灵敏度。 基于 ARM 嵌入式控制系统设计了气密性测试仪,测试仪由采集控制板和主控板组成,采集控制板负责控制气动回路工作以及采集压力、压差信号,主控板通过 CAN 总线与采集控制板相连并外接触摸屏实现人机交互。在提升检测精度方面,硬件电路采用高精度微电容检测芯片作为差压测量核心模块,软件上对采集到的数据做数字滤波处理。设计并实现了测试仪的硬件与软件。